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用于制備旋轉靶的 ITO 粉研制 | 發(fā)布時間:2019-1-3 15:53:04 | | | |
該科技成果為 2007 年湖南省科技計劃重點項目,通過了省級科技成果鑒定。
科技成果的先進性、創(chuàng)新性:
( 1 )通過在濕法制備 ITO 粉末中采用特殊的添加劑,消除了銦、錫順序沉淀和沉淀劑局部過濃的缺陷,研制的 ITO 微粉高純、均質、團聚程度少,易于實現(xiàn)工業(yè)化生產(chǎn);
( 2 )建立了旋轉靶用 ITO 粉產(chǎn)品的技術標準,確定了相應工藝流程和參數(shù)。
該科技成果已進行市場推廣應用,經(jīng)濟社會效益良好。 | | 【刷新頁面】【加入收藏】【打印此文】 【關閉窗口】 | |
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