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基于可控柔體的超精密光學(xué)制造裝備與工藝
發(fā)布時(shí)間:2019-1-3 16:05:26

 

該科技成果獲得 2009 年湖南省科技進(jìn)步一等獎(jiǎng),擁有 15 項(xiàng)國家發(fā)明專利和 2 項(xiàng)軟件著作權(quán)。

科技成果的先進(jìn)性、創(chuàng)新性:

1 )針對我國空間光學(xué)、強(qiáng)光光學(xué)、超高精度光學(xué)零件以及光學(xué)制造產(chǎn)業(yè)技術(shù)升級換代的應(yīng)用需求,結(jié)合磁流變拋光高效、高精度和超光滑表面的加工特點(diǎn)以及離子束拋光原子量級可控去除能力,系統(tǒng)建立了基于 CCOS 小工具和兩種可控柔體的超精密光學(xué)制造組合工藝流程;

2 )在國內(nèi)首次成功研制了磁流變和離子束光學(xué)拋光成套設(shè)備,具有納米精度的光學(xué)修形能力,為光刻物鏡制造、空間 SiC 大鏡制造、激光核聚變光學(xué)制造解決了加工的瓶頸問題。

       該科技成果已在國內(nèi)推廣應(yīng)用,為長春光機(jī)所、成都光電所和上海光機(jī)所及國內(nèi)其他光學(xué)制造單位和行業(yè)提供了新一代高端光學(xué)制造裝備和技術(shù),經(jīng)濟(jì)效益良好。
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