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| 一種用于輔助微細(xì)超聲加工的蝕刻液及其制備方法 | | 發(fā)布時(shí)間：2019-10-21 15:00:28 | | | | | 本發(fā)明公開一種用于輔助微細(xì)超聲加工的蝕刻液，所述蝕刻液專門針對(duì)輔助微細(xì)超聲加工研制，所述蝕刻液由以下質(zhì)量百分含量的組分組成：氯化鐵5～15％、酸3～5％、苯并三唑2～4％、乙二胺1～2％、十二烷基磺酸鈉2～3％，余量為水；所述酸由高氯酸、次氯酸和磺酸組成，而且所述高氯酸、次氯酸和磺酸的質(zhì)量比為(1～3)：(6～14)：(15～26)。本發(fā)明所述蝕刻液具有較低的蝕刻速度，而且側(cè)蝕量較小，能夠有效用于輔助微細(xì)超聲加工。本發(fā)明還公開了所述蝕刻液的制備方法，以及所述蝕刻液在輔助微細(xì)超聲加工中的用途。 | | | 【刷新頁面】【加入收藏】【打印此文】 【關(guān)閉窗口】 | |
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