技術(shù)詳細(xì)介紹

1.裝備主機(jī)磨盤(pán)與工件相對(duì)運(yùn)動(dòng)模式分析與優(yōu)化

上、下磨盤(pán)相對(duì)運(yùn)動(dòng)速度、工件自轉(zhuǎn)軌跡分析與優(yōu)化；

下磨盤(pán)主軸系統(tǒng)結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)與分析；

上磨盤(pán)主軸系統(tǒng)結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)與分析。

2.加工過(guò)程磨盤(pán)-工件熱力耦合控制的新方法

加工壓力分階段控制、具備反饋功能的柔性加壓系統(tǒng)設(shè)計(jì)；

磨盤(pán)工作區(qū)間溫度控制、水冷系統(tǒng)設(shè)計(jì)；

3.加工裝備動(dòng)態(tài)性能與服役可靠性

機(jī)架、磨盤(pán)主軸、上磨盤(pán)加壓系統(tǒng)等關(guān)鍵結(jié)構(gòu)的固有振動(dòng)特性分析及優(yōu)化設(shè)計(jì)；

磨盤(pán)驅(qū)動(dòng)、潤(rùn)滑密封等關(guān)鍵參數(shù)和結(jié)構(gòu)的選取與優(yōu)化；

磨盤(pán)主軸支承、配合等關(guān)鍵零部件的服役可靠性分析和壽命預(yù)測(cè)。

4.加工表面質(zhì)量參數(shù)檢測(cè)技術(shù)

研究納米精度面型、超光滑表面、表面完整性等加工表面質(zhì)量參數(shù)在線(xiàn)測(cè)量硬件構(gòu)架；

研究多源測(cè)量信號(hào)處理技術(shù)；

研究加工-測(cè)量一體化閉環(huán)控制技術(shù)。

5.大尺寸硬脆材料超精密表面制造裝備集成

完成整機(jī)結(jié)構(gòu)方案設(shè)計(jì)；

建立零部件模型和整機(jī)裝配模型；

完成自制件工程圖、整機(jī)裝配圖和BOM表；

整機(jī)控制系統(tǒng)設(shè)計(jì)；

完成樣機(jī)裝配和調(diào)試。

6.自動(dòng)上、下料系統(tǒng)集成

基于表面制造裝備主機(jī)結(jié)構(gòu)的自動(dòng)上、下料執(zhí)行機(jī)構(gòu)選型與設(shè)計(jì)，模塊化自動(dòng)上、下料系統(tǒng)集成。

技術(shù)指標(biāo)：形成原理樣機(jī)1臺(tái)，適應(yīng)8英寸Si、SiC等硬脆材料基片，基片厚度≤725μm；主機(jī)磨盤(pán)結(jié)合面工作溫度≤35℃；上磨盤(pán)加壓范圍0~10000N、可調(diào)；基片TTV≤3μm，表面粗糙度Ra≤1nm；整機(jī)重量≤10噸；申請(qǐng)發(fā)明專(zhuān)利≥5項(xiàng)。