| 用于制備旋轉(zhuǎn)靶的 ITO 粉研制 | | 成果類型：新材料 | | 專利號(hào)/登記號(hào)：用于制備旋轉(zhuǎn)靶的 ITO 粉研制 | | 權(quán)利人屬性：用于制備旋轉(zhuǎn)靶的 ITO 粉研制 | | 發(fā)布時(shí)間：2019-1-3 15:53:04 |
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技術(shù)詳細(xì)介紹技術(shù)詳細(xì)介紹
該科技成果為 2007 年湖南省科技計(jì)劃重點(diǎn)項(xiàng)目，通過了省級(jí)科技成果鑒定。
科技成果的先進(jìn)性、創(chuàng)新性：
（ 1 ）通過在濕法制備 ITO 粉末中采用特殊的添加劑，消除了銦、錫順序沉淀和沉淀劑局部過濃的缺陷，研制的 ITO 微粉高純、均質(zhì)、團(tuán)聚程度少，易于實(shí)現(xiàn)工業(yè)化生產(chǎn)；
（ 2 ）建立了旋轉(zhuǎn)靶用 ITO 粉產(chǎn)品的技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)，確定了相應(yīng)工藝流程和參數(shù)。
該科技成果已進(jìn)行市場推廣應(yīng)用，經(jīng)濟(jì)社會(huì)效益良好。 |
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