| 基于可控柔體的超精密光學(xué)制造裝備與工藝 | 成果類型:機(jī)械 | 專利號/登記號:基于可控柔體的超精密光學(xué)制造裝備與工藝 | 權(quán)利人屬性:基于可控柔體的超精密光學(xué)制造裝備與工藝 | 發(fā)布時間:2019-1-3 16:05:26 |
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技術(shù)詳細(xì)介紹技術(shù)詳細(xì)介紹
該科技成果獲得 2009 年湖南省科技進(jìn)步一等獎,擁有 15 項國家發(fā)明專利和 2 項軟件著作權(quán)。
科技成果的先進(jìn)性、創(chuàng)新性:
( 1 )針對我國空間光學(xué)、強(qiáng)光光學(xué)、超高精度光學(xué)零件以及光學(xué)制造產(chǎn)業(yè)技術(shù)升級換代的應(yīng)用需求,結(jié)合磁流變拋光高效、高精度和超光滑表面的加工特點以及離子束拋光原子量級可控去除能力,系統(tǒng)建立了基于 CCOS 小工具和兩種可控柔體的超精密光學(xué)制造組合工藝流程;
( 2 )在國內(nèi)首次成功研制了磁流變和離子束光學(xué)拋光成套設(shè)備,具有納米精度的光學(xué)修形能力,為光刻物鏡制造、空間 SiC 大鏡制造、激光核聚變光學(xué)制造解決了加工的瓶頸問題。
該科技成果已在國內(nèi)推廣應(yīng)用,為長春光機(jī)所、成都光電所和上海光機(jī)所及國內(nèi)其他光學(xué)制造單位和行業(yè)提供了新一代高端光學(xué)制造裝備和技術(shù),經(jīng)濟(jì)效益良好。 |
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