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一種基于石墨烯的光濾波器件
發(fā)布時(shí)間:2020-12-17 15:12:38

一種基于石墨烯的光濾波器件,包括光耦合結(jié)構(gòu),光耦合結(jié)構(gòu)包括電解質(zhì)層、金屬電極、石墨烯條帶陣列、介質(zhì)層、金屬光柵和襯底,在電解質(zhì)層和金屬電極上設(shè)置有頂柵電壓的調(diào)節(jié)裝置;由石墨烯條帶陣列、介質(zhì)層與金屬光柵構(gòu)成的Fabry‑Perot微腔陣列位于襯底上,電解質(zhì)層和金屬電極分別位于Fabry‑Perot微腔上方的同一平面上。本發(fā)明基于目前極為成熟的微納刻蝕加工技術(shù)以及多層膜技術(shù),工藝流程不繁雜,操作簡(jiǎn)單。與傳統(tǒng)的同頻段濾波器件相比,石墨烯的引入大大縮小了耦合器件的尺寸。通過(guò)柵極電壓調(diào)節(jié)石墨烯的費(fèi)米能級(jí)來(lái)調(diào)控光過(guò)濾頻率,實(shí)現(xiàn)了對(duì)光的主動(dòng)控制,而且所需的功耗較小,品質(zhì)因數(shù)大,響應(yīng)速度快,具有很寬的工作頻。
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